Lithographie par immersion chez les fabricants de mémoire

Canon attend une baisse des ventes de ses scanners secs, les fabricants de mémoire devant investir dans la lithographie par immersion l’année prochaine. De son côté, Nikon parle d’une hausse de la demande de la part des fabricants de LCD.

Sec et immersion

Très sommairement, lorsqu’un fondeur veut graver un wafer, il utilise un masque qu’il reproduit sur le wafer. Le die est en fait une reproduction plus petite du masque. Pour ce faire, il peut avoir recours à plusieurs techniques. Intel utilise une photolithographie sèche. Grossièrement, on emploie des lentilles pour manipuler la lumière afin de la focaliser, la réduire et graver le wafer à partir du masque.

La lithographie par immersion est une technique dont on parle de plus en plus. Elle consiste à placer le wafer dans un bain liquide qui a un indice de réfraction supérieur à 1. Le liquide agit donc comme une lentille ou une loupe en grossissant l’apparence du wafer. Le principe est le même que pour la lithographie sèche, il s’agit de focaliser la lumière pour accroître la finesse de gravure.

La photolithographie par immersion permet de plus facilement augmenter la finesse de gravure tout en accroissant la productivité. Le problème est que les machines sont chères et les fabricants de mémoire doivent économiser avant de faire le pas.

Les tendances du marché

C’est la raison pour laquelle Canon a annoncé qu’il comptait voir une baisse de ses ventes de scanner sec cette année. Les fondeurs économisent et devraient acheter des scanners à immersion dans les prochaines années.

De son côté, Nikon annonce que les fabricants de dalles LCD vont tirer les ventes par le haut, en raison d’une hausse de la production des dalles, ce qui permettra de compenser les baisses engendrées par les fabricants de mémoire.